用于C4F6・C5F8・COS的检测器 TP-70DGⅡ
特征：
- 通过采用含有催化剂的热分解器，实现减少干扰带来的影响
单触式的传感器更换方式
搭载新型智能化传感器
采用易于观察的大型字符LCD
搭载流量自动调整功能
用途：
- 用于检测半导体工厂内的C4F6/C5F8/COS
用于对储气瓶存放柜及半导体制造装置进行检测
用于无尘室内的环境监测
产品类别 | 固定式 |
类型 | 智能型检测部 |
检测对象气体 | C4F6/C5F8/COS |
检测原理 | 催化＋定电位电解式 |
检测范围 | 0～5ppm（C4F6・C5F8） |
报警设定值 | 1st：2ppm/2nd:4ppm（C4F6・C5F8） |
检测方式 | 泵吸式 |
报警种类 | 气体报警/故障报警 |
报警内容 | 1st：ALM1指示灯闪烁、或亮灯(红色) |
电源 | AC100～240V±10% |
外形尺寸・重量 | 约180(W)×225(H)×285(D)mm（不包含突起部分） |
使用时的温湿度范围 | 20～40℃（无骤变） |